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TCAD 完整的制程与工艺仿真软件
  TCAD套件被遍布全球的半导体厂家用于半导体器件和集成电路的研究和开发、测试和生产过程中。Virtual Wafer Fab是TCAD综合环境,Athena是专业的工艺仿真系统,Atla s器件仿真系统,Mercury是快速器件仿真系统。

  Silvaco 提供了 TCAD Driven CAD Environment ,这一套完整的工具使得物理半导体工艺可以给所有阶段的 IC 设计方法提供强大的动力:制程模拟和器件工艺; SPICE Model 的生成和开发; interconnect parasitics 的极其精确的描述; physically-based 可靠性建模以及传统的 CAD 。所有这些功能整合在统一的框架,提供了工程师在完 整的设计中任何阶段中所做更改导致的性能、可靠性等效果直接的反馈。

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